技術(shù)規(guī)格(1)移動(dòng)范圍:X軸驅(qū)動(dòng)部:100mm電動(dòng)立柱(垂直方向):250mm(2)Z軸測(cè)量范圍:1000μm(粗糙度時(shí))、50mm(輪廓度時(shí))(3)直線度:粗糙度時(shí)(0.05+1.0L/1000)μm,L:測(cè)量長(zhǎng)度(mm)輪廓度時(shí)1μm/100μm(4)測(cè)量精度(輪廓):Z軸(...更多
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